中微公司:CCP刻蚀设备已超200台运转在5纳米芯片生产线
中微公司3月2日披露投资者关系活动记录表显示,公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀设备持续得到众多客户的批量订单,市场占有率不断提升,累计已有2320台反应台在生产线合格运转。在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上,公司的CCP刻蚀设备均实现了多次批量销售,已有超过200台反应台在生产线合格运转。
芯闻快讯
2023年03月02日