光驰半导体:投资5.48亿元原子层镀膜与刻蚀设备项目开工
9月23日,光驰半导体技术(上海)有限公司原子层镀膜与刻蚀设备项目开工奠基仪式在上海宝山高新区举行。项目全部建成后将具有年产高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机的产能。
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2022年09月27日