ASML拟推出Hyper-NA EUV光刻机,芯片密度限制再缩小
日前,ASML前总裁兼首席技术官、现任公司顾问Martin van den Brink在imec ITF World的演讲中表示:“从长远来看,我们需要改进光刻系统,因此必须要升级 Hyper-NA。
芯闻快讯
2024年06月18日
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