重要突破！中微公司全球首台高选择性刻蚀设备顺利付运
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称 “中微公司”，股票代码：688012）宣布其又一里程碑：Primo Domingo®气相高选择性刻蚀设备全球首台机顺利付运国内重要集成电路研发制造客户。芯片架构三维化正成为支持芯片持续缩微的重要动能，而高选择性刻蚀工艺是三维器件制造的最关键工艺之一。针对GAA、3D NAND、3D DRAM等器件工艺需求，中微公司在高选择性刻蚀设备领域的
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