近日，山东省发改委发布2025年新认定山东省工程研究中心名单，青岛华芯晶电科技有限公司（下简称“华芯晶电”）牵头申报的“化合物半导体单晶衬底制备技术山东省工程研究中心”成功入选。
据悉，该中心由华芯晶电与同济大学联合共建，聚焦半导体上游关键基础材料自主可控，以服务国家和省市重大战略任务、支撑保障青岛市新一代信息技术等创新型产业体系重大工程实施为目标。现有固定研发人员150人，通过自主开发、产学研合作、企业间技术合作等方式，已开展技术研发项目70余项，其中省级以上在研项目30余项，获得专利200余项，参与国家标准制定3项，获得20余项荣誉奖项。
该中心拟攻克一批制约产业向高端化转型的关键核心技术，与国内高校和科研院所开展多维度产学研合作，充分利用国内丰富应用场景，将先进技术成果在更多战略性新兴产业领域应用，同时瞄准国家未来产业重点领域，超前布局技术创新方向并开展相应研究工作。
在高品质超宽禁带氧化镓单晶衬底的技术研究及产业化方面，一是基于导模法高效率生长大尺寸且低缺陷密度的高质量氧化镓单晶，二是面向大功率、高耐压器件应用需求的氧化镓衬底加工研究技术。在大尺寸、低成本磷化铟衬底的技术研发及产业化方面，一是重点进行大直径磷化铟单晶生长热场设计和调控技术研究，二是掌握大尺寸磷化铟晶体单晶良率提升和低位错控制关键技术。
