据韩媒报道,11月12日,荷兰芯片设备制造商阿斯麦(ASML)华城园区竣工仪式当天在京畿道华城市举行。
据悉,ASML华城园区总面积达1.6万平方米,设有深紫外(DUV)光刻、极紫外(EUV)光刻等高新设备零部件再制造中心和先进技术培训中心。ASML将以华城园区竣工为契机,进一步加强同三星电子、SK海力士等韩国半导体企业在工艺及技术方面的交流合作,同时与韩国零部件、材料和设备企业构筑生态系统。
此前,ASML曾发布到2025年投资2,400亿韩元(约合人民币12亿元)在华城市打造半导体设备集群的计划。
