深圳平湖实验室官微消息,该实验室在1200V级GaN功率器件领域取得关键突破:首次在8英寸Si衬底实现超8μm低翘曲GaN外延,成功验证1200V科研小器件电性,关键性能达国际先进水平,为数据中心800V母线供电、工业电机驱动等产业核心元器件自主供应奠定基础。


据悉,研发团队依托实验室8英寸硅基GaN科研中试平台,通过厚膜外延与场板优化,攻克两项产业化关键难题:一是实现8英寸Si衬底超8μm GaN外延层制备,纵向耐压超2.25kV,翘曲<30μm;二是研制出1200V增强型Si基GaN HEMT科研小器件,阈值电压>2V,漏极击穿电压>2kV,性能优异。


目前,1200V级GaN HEMT器件正推进工程样品封装与可靠性验证,首批封装样品预计2026年Q3发布。该成果突破8英寸Si衬底超厚GaN外延壁垒,证实了器件在高频大功率高压场景的可行性,将助力我国第三代半导体功率器件产业化发展。


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