EDA工具/IP/3D IC设计专区
• EDA设计与验证:数字验证全流程解决方案、系统级EDA平台、高性能以太网RDMA IP、大模型算力与AI驱动下的EDA创新策略、2.5D及3D异构集成设计工具、可测性设计(DFT)平台等。
• 仿真与原型验证:数据中心级硬件仿真加速验证平台、原型验证平台、数字孪生能力等。
• IP核与接口:UCIe/Chiplet接口IP、HBM相关IP、高速接口IP(如USB/PCI-SERDES)等。
封装测试服务专区
• 先进封装类型:扇出型(Fan-Out)封装、2.5D/3D封装、系统级封装(SiP)、晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)、共封装光学(CPO)、板级封装(PLP)等。
• 测试与量测:系统级测试(SLT)机台、三温测试系统、晶圆级电性测试、AI智慧测试平台等。
• 检测与分析:先进封装3D量测(如TSV/RDL/Overlay)、X光无损检测、纳米级化学溶液粒子监测系统、内部裂痕与崩边检测等。
IC载板与先进材料
• 封装载板:FCBGA载板、玻璃基载板、陶瓷基板、封装基板等。
• 晶圆制造材料:硅晶圆、光刻胶、电子气体、CMP抛光材料、溅射靶材等。
• 封装材料:临时/永久键合材料、底部填充胶(Underfill)、环氧树脂、激光开槽涂层、导热界面材料(TIM)等。
• 工艺材料:硅通孔(TSV)与玻璃通孔(TGV)材料、重布線層(RDL)材料、微凸块(μBump)与铜柱(Cu Pillar)材料等。
封装工艺设备
• 核心加工设备:固晶/贴片设备、激光切割/开槽设备、临时/永久键合机、电镀/湿制程设备、刻蚀/沉积设备(用于RDL/TSV)等。
• 精密检测设备:晶圆级缺陷检测与量测平台、白光干涉仪用于3D形貌量测、自动光学检测(AOI)设备、X光检测设备等。
• 其他辅助设备:点胶/涂覆设备、晶圆/载板搬运盒与自动化搬运系统、清洗设备、高精度减薄机等。
TGV玻璃基载板专区
• 玻璃通孔工艺:高深宽比工艺及设备、通孔金属化/填充工艺及设备等;
• 玻璃中介层、基板:玻璃中介层制造工艺、玻璃芯基板制造工艺、面板级布线等;
• 可靠性/测试/设计解决方案:玻璃通孔切割、机械和性能/翘曲/可靠性测试、光学/电气性能测试、新型检测/测试解决方案、玻璃芯基板设计、大面积的翘曲改善、大面积的抛光减薄、大面积的热管理方案等;
• 材料及应用:基于大尺寸芯片流程的电镀液、蚀刻液、抛光液、清洗剂;基于大大尺寸工艺验证的缓冲层;基于大尺寸结构设计的热界面材料;基于大尺寸封装保护的底部填充材料、环氧塑封、粘接胶、金属散热盖;微流道材料;玻璃原材料、玻璃晶圆、玻璃面板、玻璃陶瓷、玻璃芯基板中PI、PSPI、ABF等材料的优化与创新等;
• 其他基板技术:蓝宝石、金刚石、碳化硅。