近日,英特尔CEO宣称已完成新材料投资布局,包括:EMIB、玻璃基板、以及氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、磷化铟(InP)和人工合成钻石等新材料领域,以应对传统工艺节点微缩趋近物理极限的挑战。
2.5D芯片组封装正成为高性能AI系统的关键,但封装密度和功率密度的上升正在形成新的热墙。热点热通量可达到千瓦/平方厘米水平,而高热通量还会加剧小芯片变形,威胁机械可靠性。
钻石为其超高导热率(高达2200 W/m·K)和强有力的机械刚性提供了前景。但融合依然困难重重。传统的金刚石集成通常需要高于700°C的高温工艺,这与标准半导体制造不兼容,且可能引发严重的CTE错配应力。
低温粘结方法如表面激活键合、金属互层、纳米银烧结和共晶结合正在被探索,但每种方法在热边界阻力、机械稳定性、表面粗糙耐受性和可扩展性之间仍面临权衡。
关键挑战很明确:我们如何在低温、低热阻、高可靠性和可制造成本的先进封装中集成钻石?对于AI封装来说,热管理不再只是冷却问题。
正是在这一产业背景下,由IEEE Fellow、焊接材料领域国际权威李宁成博士亲自发起并永久冠名的“李宁成杯”先进焊接材料应用案例大赛,于2026年2月正式启动、7月5日正式截稿。
大赛以“工程师驱动产业创新”为主题,聚焦精密电子与半导体先进封装领域的真实焊接应用案例,鼓励DFM(可制造性设计)、FMEA(失效模式与影响分析)、缺陷分析(FA)、故障排除(Trouble Shooting)等工程实践。大赛优秀案例聚焦钻石材料——破解更多类似的材料和粘结技术上的问题。
低温工艺是最大瓶颈。传统MPCVD钻石生长温度通常高达700–1000°C。这远超后道工艺(BEOL)、玻璃基板和有机材料的承受能力,极易造成翘曲、金属迁移甚至器件损伤。目前最现实的突破方向是低温键合技术,而非单纯追求低温生长。
2024年已有研究团队实现200°C晶圆级键合,将多晶钻石与硅或玻璃基板可靠连接。键合后的热边界阻(TBR)低至约9.74 m²K/GW,远优于传统焊料或烧结工艺。同时通过了1000次热循环和湿热测试,显示出良好的可靠性。
界面热阻决定了实际效果。即使钻石本体热导率极高,如果与芯片或基板的界面热阻过大,热量依然无法有效导出。先进封装要求从热点到最终散热路径的总热阻极低,因此界面工程成为关键。
目前主流方案包括反应性金属纳米层键合和表面活化键合。这些方法能在较低温度下形成致密、稳定的界面层,大幅降低热边界阻。中国团队已成功将多晶钻石低温键合到2.5D玻璃转接板背面,在热点功率密度约2 W/mm²的条件下,将芯片结温降低24.1°C,封装整体热阻降低28.5%。
可靠性与CTE失配问题也有。钻石的热膨胀系数仅约1.0–1.2 ppm/K,与硅(2.6 ppm/K)、铜(17 ppm/K)存在明显差异。在反复热循环和功率循环中,界面应力容易导致裂纹或脱层。因此,可靠性验证必须覆盖热循环、功率循环、HAST等严苛条件。
低温键合技术通过优化金属间层微观结构,已在实验中展现出优异的抗疲劳能力。这为后续量产提供了重要依据。
如何实际集成形态建议。目前最成熟、也最推荐的落地方式是背面钻石热扩散器。在玻璃转接板或有机基板背面低温键合多晶CVD钻石板,再通过高性能TIM与散热器连接。该方案与现有玻璃TGV产线兼容性高,改动较小。
其次是钻石盖板/热沉,适合高TDP的AI加速器模块,可快速导入现有封装流程。嵌入式或混合基板方案虽然潜力更大,但仍需解决钻石的图形化与通孔工艺,成熟度相对较低。
钻石材料成本较高是客观现实,但可通过几种方式控制系统级成本:优先采用多晶CVD钻石薄板而非单晶,厚度控制在合理范围即可发挥主要热扩散作用;与现有玻璃转接板或面板级封装产线协同,减少新增设备投入;钻石表面进行金属化处理(Ti/Pt/Au或铜镀层),实现低热阻键合与可焊性;从全生命周期成本看,钻石可显著降低结温、延长器件寿命、减少系统冷却硬件投入,长期经济性优势明显。
国内MPCVD设备和材料供应链已逐步成熟,为规模化提供了有力支撑。在玻璃TGV + 钻石热管理的混合架构下,电学互连与热学性能可同时得到优化。这将成为CoPoS及下一代高性能基板的重要发展方向。随着低温键合工艺进一步成熟,以及低温生长技术的突破,钻石集成有望在2027–2030年间进入量产验证阶段,尤其在高功率密度AI芯片和HPC模块中率先实现规模化应用。
关键成功要素包括:持续降低界面热边界阻、建立标准化低温键合与可靠性测试体系、推动面板级大面积钻石工艺,以及与玻璃和有机基板厂商形成紧密生态合作。
钻石正从“高端可选材料”转变为高功率先进封装热管理的核心使能技术。当前的技术突破已为产业化打开窗口,接下来需要产业链上下游协同发力,加速从实验室走向可靠、低成本的量产方案。
诚邀全国从事精密电子组装与半导体封装的工程师、团队、材料供应商、设计公司及高校研究者积极参与。无论您有HBM微凸点、FOWLP扇出、功率器件焊接、玻璃基板兼容性还是其他真实难题,都欢迎提交案例。让我们在李宁成博士的引领下,以工程师的智慧与匠心,共同书写中国先进焊接材料创新的的篇章!
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