中晟光电：国内首台砷化镓/磷化铟MOCVD设备成功发运

近日，中晟光电设备（上海）股份有限公司（以下简称“中晟光电”）发运国内客户首台砷化镓/磷化铟（GaAs/InP）外延MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备ProMaxy® PE。长期以来，材料外延生长的MOCVD设备一直被国外厂商垄断，中晟光电首台国内客户的成功发运及后续与客户的战略合作，将有力助推中国化合物半导体产业的健康发展。

砷化镓/磷化铟材料广泛应用于光通讯、激光、射频、高效太阳能、电池、LED照明和显示等领域。中晟光电ProMaxy® PE设备采用自主创新的气体均匀传输和快速切换控制等核心技术，旨在有效解决光通迅/激光器件等对外延材料生长的界面特性控制难题，并保障外延材料厚度和组份的均匀性，为提高器件的整体性能奠定基础

资料显示，中晟光电成立于2011年5月，总部位于上海浦东张江高科技园区。公司专注于研发和生产用于制造LED、第二/三代半导体元器件的MOCVD设备，是国内少数拥有自主核心技术的MOCVD制造企业之一。中晟光电曾与中微公司一同在LED照明领域打破了德国爱思强和美国Veeco对中国市场的长期垄断。

今年年初，中晟半导体研发中心及产业化基地项目正式开工。项目总投资5.4亿元，占地面积23亩。项目公司中晟半导体是中晟光电的全资子公司，业务聚焦第二、三代半导体分立器件生产的关键MOCVD设备和技术的研发、生产、销售及技术服务。