ASML携蔡司研发新一代Hyper NA EUV设备

据外媒报道,近日,ASML技术高级副总裁Jos Benschop在受访时表示,该企业已与光学组件独家合作伙伴蔡司一同启动了单次曝光实现5nm分辨率的Hyper NA光刻机开发,能满足2035年乃至更后阶段的产业需求。

中国电科成功研发国内首个金刚石微波激射器

据新华网报道,自中国电子科技集团有限公司获悉,中国电科产业基础研究院重点实验室量子科研团队联合中国科学院量子信息重点实验室,成功研发国内首个金刚石氮空位色心微波激射器。