一块芯片如何制造出来?从版图到芯片需要多少流程?为了保证芯片制造达到预期性能,实现规模化生产,中试线平台和PDK两大核心支撑缺一不可。近日,上海交通大学无锡光子芯片研究院(CHIPX)正式发布薄膜铌酸锂光子芯片PDK以及全球首个光子芯片全链垂直大模型LightSeek

据了解,CHIPX建成全球领先的光子芯片中试线,实现了薄膜铌酸锂晶圆的高精度光刻,覆盖全闭环工艺流程,为光子芯片PDK(工艺设计)提供了精确可靠的工艺基础。

此次,CHIPX正式发布的薄膜铌酸锂光子芯片PDK构建了全流程器件流片体系。其超低波导损耗、工艺均匀性等核心指标达国际领先,支持大规模集成与整晶圆级制造,通过技术标准化与开放生态,将设计验证周期从数周缩短至分钟级,突破“从01”工艺瓶颈,实现“从1N”产业扩张。

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