芯源微广州子公司光刻胶泵及高纯供液系统产业化项目开工
4月25日,沈阳芯源微电子设备股份有限公司(以下简称“芯源微”)广州子公司——广州芯知科技有限公司半导体设备光刻胶泵及高纯供液系统研发及产业化项目开工仪式在广州举行。
产业项目
2024年04月26日